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產品型號：
更新時間：2025-07-17
廠商性質：經銷商
訪 問 量 ：22
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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61340-PACX-0001
型號：61340-PACX-0001
類型：氣動高真空蝶形控制閥（金屬密封，快響應型）
品牌：VAT Group（瑞士，專精超高真空解決方案）
核心定位：面向半導體、光伏及科研領域的高動態流量控制場景
材質組合：
閥體：316L不銹鋼（電解拋光，Ra ≤ 0.5 μm）
蝶板：鈦合金鍍Al?O?（抗等離子體腐蝕，適用于刻蝕/CVD工藝）
密封：全金屬密封（金包覆不銹鋼，漏率 <1×10?? mbar·l/s）
執行機構：
氣動驅動（雙作用），響應時間 <50 ms（一梯隊）
可選電動執行器（步進電機，開度控制精度 ±0.1%）
反饋系統：
標配模擬量輸出（0-10V對應0-100%開度）
可選數字通信（PROFIBUS DP或DeviceNet）
法蘭標準：
ISO-KF（DN40至DN160）、CF（2.75"至8"）
支持SEMI標準定制（如NW法蘭）
接口選項：
氣路接口：1/4" NPT或Swagelok VCR
電氣接口：M12航空插頭（IP67防護）
| 參數類別 | 技術指標 | 測試條件 |
|---|---|---|
| 真空范圍 | 10?1? mbar 至 大氣壓 | 氦質譜檢漏（金屬密封） |
| 流量系數（Cv） | 1.2 | 空氣介質，ΔP=1 bar |
| 耐溫性 | -20°C 至 +200°C（金屬密封） | 烘烤模式（持續48小時） |
| 耐腐蝕性 | 兼容Cl?、HBr、WF?等（需指定鍍層） | ASTM G31加速腐蝕測試 |
| 機械壽命 | >10?次循環（金屬密封） | MIL-STD-810G振動測試 |
功能：腐蝕性氣體快速切斷（如Cl?/HBr等離子體環境）
定制需求：Al?O?鍍層蝶板 + 雙密封結構（冗余設計）
優勢：
超快響應（<30 ms脈沖控制）匹配前驅體脈沖注入
漏率 <5×10?1? mbar·l/s 確保薄膜純度
關鍵指標：
無磁化設計（鈦合金材質）避免束流干擾
XHV級密封（烘烤后漏率維持10?1? mbar·l/s）
| 型號 | 61340-PACX-0001 | 61332-KEAF-0001 | 61348-PEGH-0001 |
|---|---|---|---|
| 密封類型 | 金屬密封 | 金屬密封 | PTFE密封 |
| 響應速度 | <50 ms | <100 ms | <80 ms |
| 耐溫上限 | +200°C | +150°C | +120°C |
| 適用工藝 | 刻蝕/離子注入 | CVD/傳輸 | 非腐蝕性氣體 |
扭矩控制：
法蘭螺栓扭矩 ≤15 Nm（ISO-KF）、≤25 Nm（CF）
對中要求：
軸向偏差 <0.1 mm，角度偏差 <0.5°
預防性維護：
每50萬次循環檢查密封面磨損（原廠提供磨損檢測工具包）
深度保養：
每2年更換驅動機構潤滑脂（VAT專用真空潤滑脂 P/N: LUB-VAC-002）
瑞士VAT高真空蝶形控制閥61340-PACX-0001
Q：能否兼容EUV光刻機的真空環境？
→ 可以，但需選配特殊潔凈版（后綴加“-EUV"，顆粒釋放率降低50%）
Q：與MKS 649B的互換性？
→ 需驗證法蘭接口和控制信號匹配，通常需轉接板（VAT提供適配方案）
Q：最小訂單量（MOQ）？
→ 原廠1臺起訂，批量（≥5臺）可享8%折扣
優勢供應：
商品編號61328-KAGH-0001
商品編號61328-KEGH-0001
商品編號61346-PEAH-0001
商品編號61332-KEAK-0001
商品編號61346-PACE-0001
商品編號61348-PEAX-0001
商品編號61328-KEGE-0001
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