瑞士VAT閥95.3 高真空控制和隔離閥組合單元
95.3 高真空控制和隔離閥組合單元
體積小巧，性能出眾

兩面兼顧：高性能閥技術強強結合95.3 控制和隔離閥組合單元在一個小巧的單元內結合采用兩項最佳閥門技術。在 95.3 系列中，蝶形控制閥作為節流閥，與角閥（DN 達 50 mm (2")）或閘閥（DN 為 63 mm (2.5") 及以上）組合，兼備了的可控性和緊密的隔離 (< 1 x 10-9 mbar ls-1)。此組合設計的優勢在于占用空間小，因為它只需要一個控制器就可以控制兩個閥門，并且不需要額外的法蘭和連接器（通常在安裝兩個單獨閥門時需要）。

集成的 32 位 IC2 壓力控制器可快速精準地控制蝶形閥板位置，通過較大的流導范圍的可控性。該控制器還可以控制集成角閥或集成閘閥的隔離功能。兩個閥門的運動周期可在同一個運動配置文件中同步，以提供順暢的運行以及最佳的控制和隔離功能。組合閥甚至能夠以定義的角度開啟蝶形板，同時隔離閥仍保持閉合，避免關閉位置出現死區。

95.3 高真空控制和隔離閥組合單元已經安裝在數千個各種工藝條件下的要求苛刻的應用中，證明了其的可靠性。

95.3 高真空控制和隔離閥組合單元采用不銹鋼（DN 最大為 50 mm）和鋁（DN 為 25-250 mm (1" - 10")）制成，配有 ISO-KF 和 ISO-F 標準法蘭連接器，可集成客戶法蘭。可根據要求提供各種全氟橡膠/氟橡膠彈性體（氟橡膠為標準選項）。