海德漢HEIDENHAIN光柵尺的工作原理和相關(guān)知識

海德漢HEIDENHAIN光柵尺的工作原理和相關(guān)知識

海德漢公司的光學掃描型光柵尺或編碼器的測量標準都是周期刻線-光柵尺。這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。大長度測量用的光柵尺基本為鋼帶。這些精密光柵通過多種光刻工藝制造。光柵的制造方式有：在玻璃上鍍硬鉻線；在鍍金鋼帶上蝕刻線條；在玻璃或鋼材基體上蝕刻三維結(jié)構(gòu)圖案。
海德漢公司開發(fā)的光刻工藝生產(chǎn)的光柵的典型柵距從40μ到1μ以下，這些光刻工藝制作的光柵柵距非常小，而且線條邊緣清晰和均勻，再加上光電掃描法，這些邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號的關(guān)鍵，而且母版光柵采用海德漢公司制定的精密刻線機制造。

海德漢HEIDENHAIN光柵尺的工作原理和相關(guān)知識
【海德漢光柵尺-光柵尺的相關(guān)知識】
決定直線光柵尺測量精度的主要因素：
光柵質(zhì)量
掃描質(zhì)量
信號處理電路質(zhì)量
1.光柵尺相對掃描單元的方向誤差
其中必須區(qū)分兩種不同精度，一個是大行程度上的（例如全量程）的位置測量誤差，另一個是單信號周期內(nèi)的位置測量誤差。
測量長度上的位置誤差
敞開式直線光柵尺精度用精度等級表示，其定義為：在任何1米的測量長度上總誤差F（相對其誤差平均值）的極值不超過精度等級±a。
對敞開式直線光柵尺，以上定義的精度等級只適用于長光柵。因此它稱為光柵尺精度。
2.單信號周期內(nèi)位置誤差
 單信號周期內(nèi)的位置誤差取決于掃描質(zhì)量和光柵尺或編碼器單信號周期大小。海德漢公司的敞開式直線光柵尺在全量程的任何位置處它均不超過一個信號周期的±1%。
 信號周期越小，單信號周期內(nèi)的位置誤差也越小。這對定位運動精度和慢速運動以及軸傳動期間的速度控制非常重要。
3.海德漢光柵尺敞開式直線光柵尺 
所有海德漢公司的直線光柵尺在發(fā)貨前全部進行精度和功能檢驗。精度檢定在兩個運動方向上執(zhí)行，精心選擇的測量位置數(shù)能夠確保準確確定大量程范圍誤差和單信號周期內(nèi)的無知誤差。
海德漢公司每個直線 光柵尺均有制造商檢驗合格證，證明它符合系統(tǒng)精度要求，檢定標準符合國家和*標準要求，能確保滿足ISO9001的可追溯性要求。

海德漢HEIDENHAIN光柵尺的工作原理和相關(guān)知識
海德漢光柵尺更多產(chǎn)品：
敞開式光柵尺型號：LIP 382、LIP 372、LIP 481、LIP 471、LIP 580、LIP 571、LIF 481、LIF 471、LIDA 483、LIDA 473、LIDA 485、LIDA 475、LIDA 487、LIDA 477、LIDA 287、LIDA277、LDIA 289、LIDA 279、LIDA 583、LIDA 573、PP 281R、PP 271R。
封閉式直線光柵尺型號：
LC4000、LC100、LIF481、LF183、LS400、LS100、LB382-單段、LB382-多段